• X- und Y-Achse mit LM50 Linearmotoren
• Z-Achse optional mit ST7 , ST12 usw.
  
• hochauflösendes optisches Messsystem
• Genauigkeit < ±10µm in allen Achsen
• max. Geschwindigkeit 1m/s
• max. Beschleunigung 10m/s²
• präzise GMR-Endlagenschalter
• hochwertige interne Schleppkabel
• reinraumtauglich
• servicefreundlicher Aufbau

Ausführungen:

Anwendungsgebiete und Applikationen

Halbleiterproduktion

Ultraschallmikroskopie

Waferinspektion

Industrielle Fertigungstechnik

Mikromontage

Laser Technology

Fiber Alignment Positionierung

Justierelemente

Konzept

Die Achsen X und Y werden jeweils von nur einem LM50 Linearmotor bewegt. Durch einen speziellen Dämpfer kann auf einen zweiten Motor in der Y-Achse verzichtet werden. Dies führt zu einer erheblichen Kostenreduzierung, da eine komplette Achse mit Messsystem, Controller und Motor eingespart werden kann. Die seitlichen Wangen sind in unterschiedlichen Höhen lieferbar und können an verschiedenste Applikationen optimal angepasst werden. Die Z-Achse kann mit unterschiedlichen spindelgetriebenen Lineartischen ausgestattet werden (z.B. ST12, ST9, ST7 usw.). Diese Tische werden seitlich an die X-Achse montiert. Es ist auch möglich, vorne und hinten eine Z-Achse zu montieren. Der Unterbau aus Hartgestein fängt die Kräfte bei hohen Beschleunigungen gut auf, so dass eine sehr gute mechanische Stabilität erreicht wird. Das System ist intern komplett verdrahtet. Die Anschlüsse der Steuerung für Motore, Endschalter und Messsystem können direkt hinten am PT15 -Gehäuse aufgesteckt werden. Für die Anwendung werden einige Kabel in verschiedenen Ausführungen vom Schlitten der X-Achse bis hinten an die Anschlussplatte geführt (z.B. Kamerakabel, Senorkabel usw.).

Kontaktlose GMR-Endschalter sorgen für eine hohe Wiederholgenauigkeit der Position nach dem Kalibrieren (Endschalteranfahrt).

Der Tisch wurde für Scanningaufgaben im Dauerbetrieb konzipiert. Ein servicefreundlicher Aufbau ermöglicht einen schnellen und sicheren Austausch der bewegten Kabel, was gerade in der Halbleiterfertigung gefordert wird. Bei Scanningaufgaben mit hohen Geschwindigkeiten unterliegen die bewegten Kabel dem Verschleiß, da die Anzahl der  Biegezyklen pro Zeiteinheit wesentliche höher ist als bei Spindeltischen.