Kreuztisch PT15 (Portal Tisch)

Wesentliche Merkmale

  • Absolute Genauigkeit: < ±3 μm  
  • Wiederholgenauigkeit: < ± 0,5μm
  • Positionsauflösung: 50 nm
  • dynamischer Direktantrieb durch Linearmotore in X-, Y-, Z-Richtung
  • Messsysteme: Absolut oder inkrementell
  • Verfahrgeschwindigkeit: 1 μm/s bis 2,5 m/s
  • Beschleunigung: max. 50 m/s2
  • Reinraumfähig nach ISO14644-1 Klasse 5  
  • Z-Achsen optional: Linearmotor, Spindelantrieb, Messsysteme
  • Anzahl der Z-Achsen können kundenspezifisch montiert werden
  • Variable Durchlasshöhen für die zu analysierenden Produkte/ Proben
  • Verfahrbereiche: X; Y; Z individuell möglich (Typ. X=500; Y=500; Z=120) mm
  • Für Dauereinsatz 7/24/365 konzipiert
  • Kundenspezifische Ausführungen nach Rücksprache