Mikroskoptisch LMT

Wesentliche Merkmale

• direkte Positionierung in zwei Achsen mittels zweier Linearmotore
• absolute Messung der Position durch integriertes Messsystem, kein Referenzieren mehr nötig, einfach Einschalten und Positionieren
• Hydra Controller mit Ethernet, RS232 und USB Kommunikation im Tisch integriert
• Positionsauflösung <= 5 nm
• absolute Genauigkeit < ±1 μm
• Wiederholgenauigkeit < ±0,1 μm
• Joystick und Handrad optional
• leichtgängiges manuelles Verschieben des Tisches jederzeit möglich
• sehr kompakter Aufbau
• Verfahrbereich: (120 x 80) mm
• Geschwindigkeitsbereich: max. 500 mm/s
• max. Beschleunigung 5 m/s2