Mikroskoptisch LMT

Wesentliche Merkmale

  • direkte Positionierung in zwei Achsen mittels zweier Linearmotore
  • absolute Messung der Position durch integriertes Messsystem, kein Referenzieren mehr nötig, einfach Einschalten und Positionieren
  • Hydra Controller mit Ethernet, RS232 und USB Kommunikation im Tisch integriert
  • Positionsauflösung <= 5 nm
  • absolute Genauigkeit < ±1 μm
  • Wiederholgenauigkeit < ±0,1 μm
  • Joystick und Handrad optional
  • leichtgängiges manuelles Verschieben des Tisches jederzeit möglich
  • sehr kompakter Aufbau
  • Verfahrbereich: (120 x 80) mm
  • Geschwindigkeitsbereich: max. 500 mm/s
  • max. Beschleunigung 5 m/s2