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BAUGRUPPEN
VON ITK.

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Auch für Ihre Branche!

Baugruppen

03

ITK-Baugruppen

Der modulare Aufbau aller Systeme von ITK ist die Basis unserer Flexibilität. Unsere Baugruppen sind nach Bewegungsart unterteilt. Die drei übergeordneten Baugruppenkategorien ergeben ein breites Spektrum an Lineartischen, Kreuztischen und Rotationstischen. Hervorzuheben ist in diesem Zusammenhang das Zusammenwirken mit den eigenentwickelten ITK-Steuerungen.

Die Steuerungstechnik ist unser Ursprung und der entscheidende Faktor, um das volle Leistungspotenzial der mechatronischen Baugruppen auszuschöpfen. Sprechen Sie mit uns, wie die hausinterne Software- und Elektronik-Entwicklung Ihre speziellen Anforderungen maßgeschneidert umsetzen kann.
FRS200_für Baugruppenheader

Rundtische

Die extrem flachen Rundtische mit sehr hohen Anforderungen an Planlauf, Rundlauf, Wiederholgenauigkeit und Bauhöhe zählen zur absoluten Spitzenklasse auf dem Markt. Als besonders vorteilhaft erweist sich auch die zentrale Hohlwelle zur Durchführung von Kabeln, Vakuum oder Steckern. Die Rundtische sind für Applikationen im Bereich der optischen Industrie zum Vermessen und Kleben von Linsen, in Messmaschinen jeder Art, Drahtbonding-Maschinen oder in der Halbleiterindustrie bei Inspektions-Systemen zur Prüfung von Wafern vorgesehen.

Vergleich Rundtische

Produkt

Wiederhol-genauigkeit

Planlauf

Rundlauf

zu bewegende Masse

Hohlwelle

Durchmesser (in mm)

FRS

Flat Rotary Stage

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100, 200

RS

Rotary Stage

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50, 100, 200, 250, 300

Lineartische

Lineartische

Präzision, Dynamik und Langzeitstabilität bilden die Grundlage für hohe Durchsatzraten und zuverlässigen Betrieb. Durch einen neuartigen Linearmotor stellen sie eine gute Alternative zu Spindel- oder Piezoantrieben dar. Sie werden mit leistungsfähigen Steuerungen und weiteren Zusatzgeräten geliefert und bieten eine unübertroffene Präzision. Eine optimierte Luftlagerkonstruktion und hochwertige Führungen sorgen für ein Optimum an Steifigkeit, Dämpfung und Laufgenauigkeit und somit zu einer unübertroffenen Präzision

Vergleich Lineartische

Produkt

Wiederhol-genauigkeit

Verfahr-geschwindigkeit

Beschleunigung

zu bewegende Masse

Verfahrweg

FLS 100

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LS

■ ■

■ ■

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ST 9 Eco

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STK 50

Kreuztische

Kreuztische

Kreuztische von ITK sind äußerst kompakt, flach und für unterschiedliche Verfahrwege und Genauigkeiten ausgelegt.

Vergleich Kreuztische


Produkt

Wiederhol-genauigkeit

Verfahr-geschwindigkeit


Beschleunigung

zu bewegende Masse


Verfahrweg

Basis - Technologie

FCS - ABC

(Flat Cross Stage)


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■ ■


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FLS


KL - XY - ABC (Kreuztisch linear)



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LS


KS - XY - ABC

(Kreuztisch Spindel)




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ST

Nomenklatur

ABC = Verfahrweg: typisch 100 mm

XY: Schienenbreite der Führung, typisch 9, 12, 15 mm

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Rundtisch FRS 200

Rundtisch frs200_02

Technische Daten

Parameter

Einheit

Typische Leistungseigenschaften

Wiederholgenauigkeit

arcsec

2 … 36

Planlauf

µm

3 … 10

Rundlauf

µm

3 … 20

zu bewegende Masse

kg

5 … 10

Hohlwelle

mm

40 … 50

Durchmesser

mm

50 … 300

Rundtisch RS 180

Rundtisch rs 180

Technische Daten

Parameter

Einheit

Typische Leistungseigenschaften

Wiederholgenauigkeit

arcsec

2 … 36

Planlauf

µm

3 … 10

Rundlauf

µm

3 … 20

zu bewegende Masse

kg

5 … 10

Hohlwelle

mm

40 … 50

Durchmesser

mm

50 … 300

Lineartisch FLS100

Lineartische

Technische Daten

Parameter

Einheit

Typische Leistungseigenschaften

Wiederholgenauigkeit

µm

0,1 … 50

Verfahrgeschwindigkeit

mm/s

0,01 … 5000

Beschleunigung

mm/s2

100mm/s2 … 5 g

Positionsauflösung

nm

5 … 1000

Verfahrweg

mm

10 … 10.000

Lineartisch ST9 Eco

ST9 Eco

Technische Daten

Parameter

Einheit

Typische Leistungseigenschaften

Wiederholgenauigkeit

µm

0,1 … 50

Verfahrgeschwindigkeit

mm/s

0,01 … 5000

Beschleunigung

mm/s2

100mm/s2 … 5 g

Positionsauflösung

nm

5 … 1000

Verfahrweg

mm

10 … 10.000

Lineartisch STK 50

STK 50

Technische Daten

Parameter

Einheit

Typische Leistungseigenschaften

Wiederholgenauigkeit

µm

0,1 … 50

Verfahrgeschwindigkeit

mm/s

0,01 … 5000

Beschleunigung

mm/s2

100mm/s2 … 5 g

Positionsauflösung

nm

5 … 1000

Verfahrweg

mm

10 … 10.000

Lineartisch LS

LS

Technische Daten

Parameter

Einheit

Typische Leistungseigenschaften

Wiederholgenauigkeit

µm

0,1 … 50

Verfahrgeschwindigkeit

mm/s

0,01 … 5000

Beschleunigung

mm/s2

100mm/s2 … 5 g

Positionsauflösung

nm

5 … 1000

Verfahrweg

mm

10 … 10.000

Kreuztisch FCS100

Kreuztische

Parameter

Einheit

Typische Leistungseigenschaften

Wiederholgenauigkeit

µm

0,1 … 50

Verfahrgeschwindigkeit

mm/s

0,01 … 5000

Beschleunigung

mm/s2

100mm/s2 … 5 g

Positionsauflösung

nm

5 … 1000

Verfahrweg

mm

10 … 500

Kreuztisch KL12

kl12

Technische Daten

Parameter

Einheit

Typische Leistungseigenschaften

Wiederholgenauigkeit

µm

0,1 … 50

Verfahrgeschwindigkeit

mm/s

0,01 … 5000

Beschleunigung

mm/s2

100mm/s2 … 5 g

Positionsauflösung

nm

5 … 1000

Verfahrweg

mm

10 … 500

Kreuztisch KS15

kl12

Technische Daten

Parameter

Einheit

Typische Leistungseigenschaften

Wiederholgenauigkeit

µm

0,1 … 50

Verfahrgeschwindigkeit

mm/s

0,01 … 5000

Beschleunigung

mm/s2

100mm/s2 … 5 g

Positionsauflösung

nm

5 … 1000

Verfahrweg

mm

10 … 500