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ITK-Baugruppen

Der modulare Aufbau aller Systeme von ITK ist die Basis unserer Flexibilität. Unsere Baugruppen sind nach Bewegungsart unterteilt. Die drei übergeordneten Baugruppenkategorien ergeben ein breites Spektrum an Lineartischen, Kreuztischen und Rotationstischen. Hervorzuheben ist in diesem Zusammenhang das Zusammenwirken mit den eigenentwickelten ITK-Steuerungen.

Die Steuerungstechnik ist unser Ursprung und der entscheidende Faktor, um das volle Leistungspotenzial der mechatronischen Baugruppen auszuschöpfen. Sprechen Sie mit uns, wie die hausinterne Software- und Elektronik-Entwicklung Ihre speziellen Anforderungen maßgeschneidert umsetzen kann.

Rundtische

Die extrem flachen Rundtische mit sehr hohen Anforderungen an Planlauf, Rundlauf, Wiederholgenauigkeit und Bauhöhe zählen zur absoluten Spitzenklasse auf dem Markt. Als besonders vorteilhaft erweist sich auch die zentrale Hohlwelle zur Durchführung von Kabeln, Vakuum oder Steckern. Die Rundtische sind für Applikationen im Bereich der optischen Industrie zum Vermessen und Kleben von Linsen, in Messmaschinen jeder Art, Drahtbonding-Maschinen oder in der Halbleiterindustrie bei Inspektions-Systemen zur Prüfung von Wafern vorgesehen.

Vergleich Rundtische

Produkt	Wiederhol-genauigkeit	Planlauf	Rundlauf	zu bewegende Masse	Hohlwelle	Durchmesser (in mm)
FRS Flat Rotary Stage	■ ■ ■	■ ■	■ ■	■ ■ ■	■ ■ ■	100, 200
RS Rotary Stage	■	■ ■ ■	■ ■ ■	■ ■	■ ■ ■	50, 100, 200, 250, 300

Lineartische

Präzision, Dynamik und Langzeitstabilität bilden die Grundlage für hohe Durchsatzraten und zuverlässigen Betrieb. Durch einen neuartigen Linearmotor stellen sie eine gute Alternative zu Spindel- oder Piezoantrieben dar. Sie werden mit leistungsfähigen Steuerungen und weiteren Zusatzgeräten geliefert und bieten eine unübertroffene Präzision. Hochwertige Führungen sorgen für ein Optimum an Steifigkeit, Dämpfung und Laufgenauigkeit und somit zu einer unübertroffenen Präzision.

Vergleich Lineartische

Produkt	Wiederhol-genauigkeit	Verfahr-geschwindigkeit	Beschleunigung	zu bewegende Masse	Verfahrweg
FLS 100	■ ■ ■	■ ■ ■	■ ■ ■	■ ■	■ ■ ■
LS	■ ■	■ ■	■ ■ ■	■ ■ ■	■ ■ ■
ST 9 Eco	■	■	■ ■	■ ■ ■	■ ■ ■
STK 50	■	■	■	■	■

Kreuztische

Kreuztische von ITK sind äußerst kompakt, flach und für unterschiedliche Verfahrwege und Genauigkeiten ausgelegt.

Vergleich Kreuztische

Produkt	Wiederhol-genauigkeit	Verfahr-geschwindigkeit	Beschleunigung	zu bewegende Masse	Verfahrweg	Basis - Technologie
FCS - ABC (Flat Cross Stage)	■ ■ ■	■ ■ ■	■ ■ ■	■ ■	■ ■	FLS
KL - XY - ABC (Kreuztisch linear)	■ ■	■ ■	■ ■ ■	■ ■ ■	■ ■ ■	LS
KS - XY - ABC (Kreuztisch Spindel)	■	■	■ ■	■ ■ ■	■ ■ ■	ST

Nomenklatur

ABC = Verfahrweg: typisch 100 mm

XY: Schienenbreite der Führung, typisch 9, 12, 15 mm

Parameter	Einheit	Typische Leistungseigenschaften
Wiederholgenauigkeit	arcsec	2 … 36
Planlauf	µm	3 … 10
Rundlauf	µm	3 … 20
zu bewegende Masse	kg	5 … 10
Hohlwelle	mm	40 … 50
Durchmesser	mm	100, 200

Parameter	Einheit	Typische Leistungseigenschaften
Wiederholgenauigkeit	arcsec	2 … 36
Planlauf	µm	3 … 10
Rundlauf	µm	3 … 20
zu bewegende Masse	kg	5 … 10
Hohlwelle	mm	40 … 50
Durchmesser	mm	50 … 300

Parameter	Einheit	Typische Leistungseigenschaften
Wiederholgenauigkeit	µm	0,1 … 50
Verfahrgeschwindigkeit	mm/s	0,01 … 5000
Beschleunigung	mm/s²	100 mm/s² … 5 g
Positionsauflösung	nm	5 … 1000
Verfahrweg	mm	10 … 10.000

Parameter	Einheit	Typische Leistungseigenschaften
Wiederholgenauigkeit	µm	0,1 … 50
Verfahrgeschwindigkeit	mm/s	0,01 … 5000
Beschleunigung	mm/s²	100 mm/s² … 5 g
Positionsauflösung	nm	5 … 1000
Verfahrweg	mm	10 … 10.000

Parameter	Einheit	Typische Leistungseigenschaften
Wiederholgenauigkeit	µm	0,1 … 50
Verfahrgeschwindigkeit	mm/s	0,01 … 5000
Beschleunigung	mm/s²	100 mm/s² … 5 g
Positionsauflösung	nm	5 … 1000
Verfahrweg	mm	10 … 10.000

Parameter	Typische Leistungseigenschaften
Maßstabslängen	50 - 5000 mm
Materialien	hartmagnetisch, elastomer- und kunststoffgebundene Magnete
Spurbreiten	1 - 5 mm
Anzahl der Spuren	1 - 3, mehrere kodierte Spuren möglich
Periodenlänge	500 - 5000 µm
Genauigkeit	bis in den sub-µm-Bereich (kompensiert)
Auflösung	im Nanometerbereich
Schreibverfahren	digital oder analog
Software	kundenspezifische Bedien- und Auswertesoftware
Qualitätsprüfung	Vermessen des Maßstabs auf der gleichen Anlage
Typische Einsatzbedingungen	industrielle Dauernutzung (24/7)
Kennzeichnung	Jeder Maßstab kann individuell gekennzeichnet werden

Parameter	Einheit	Typische Leistungseigenschaften
Traglast	kg	0,5 … 5
Verfahrgeschwindigkeit in X & Y	m/s	0,25 ... 1
Beschleunigung in X & Y	m/s²	0,5 … 10
Wiederholgenauigkeit bidirektional	µm	≤ ±1
Positioniergenauigkeit bidirektional	µm	≤ ±20 … ≤ ±80
Auflösung	nm	500

Parameter	Typische Leistungseigenschaften
Maßstabsdurchmesser	3,5 - 500 mm (Standard)
Maßstabsmaterialien	hartmagnetisch, elastomer- und kunststoffgebunden
Platzierung der Kodierung	wahlweise radiale oder axiale Beschreiibung
Strichanzahl	frei wählbar
Anzahl der Spuren	mehrere kodierte Spuren möglich; Referenzmarken (Polarisation einstellbar)
Wiederholgenauigkeit	ab 5 arcsec (abhängig von Referenzmesssystem und Material)
Auflösung	bis zu 0,5 arcsec
Schreibverfahren	digital oder analog
Software	kundenspezifische Bedien- Auswertesoftware optional
Qualitätsprüfung	Vermessen des Maßstabs auf der gleichen Anlage optional
Typische Einsatzbedingungen	industrielle Dauernutzung (24/7)
Kennzeichnung	Jeder Maßstab kann individuell gekennzeichnet werden

Parameter	Einheit	Typische Leistungseigenschaften
Zwischenkreisspannung	Vac	0 … 48
Max. Phasenstrom	A	2,5 … 50
Unterstützte Motortypen	mm/s²	Linear-, Stepper-, Voice Coil- Servo-, DC-Motoren
Positionsauflösung	nm	5 … 1000
Echtzeittrigger		✓
Schnittstellenkompabilität		✓
Manuelle Bediengeräte		✓
Sicherheitsfunktionen		✓

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