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ITK-Baugruppen

Der modulare Aufbau aller Systeme von ITK ist die Basis unserer Flexibilität. Unsere Baugruppen sind nach Bewegungsart unterteilt. Die drei übergeordneten Baugruppenkategorien ergeben ein breites Spektrum an Lineartischen, Kreuztischen und Rotationstischen. Hervorzuheben ist in diesem Zusammenhang das Zusammenwirken mit den eigenentwickelten ITK-Steuerungen.

Die Steuerungstechnik ist unser Ursprung und der entscheidende Faktor, um das volle Leistungspotenzial der mechatronischen Baugruppen auszuschöpfen. Sprechen Sie mit uns, wie die hausinterne Software- und Elektronik-Entwicklung Ihre speziellen Anforderungen maßgeschneidert umsetzen kann.

Rundtische

Die extrem flachen Rundtische mit sehr hohen Anforderungen an Planlauf, Rundlauf, Wiederholgenauigkeit und Bauhöhe zählen zur absoluten Spitzenklasse auf dem Markt. Als besonders vorteilhaft erweist sich auch die zentrale Hohlwelle zur Durchführung von Kabeln, Vakuum oder Steckern. Die Rundtische sind für Applikationen im Bereich der optischen Industrie zum Vermessen und Kleben von Linsen, in Messmaschinen jeder Art, Drahtbonding-Maschinen oder in der Halbleiterindustrie bei Inspektions-Systemen zur Prüfung von Wafern vorgesehen.

Vergleich Rundtische

Produkt	Wiederhol-genauigkeit	Planlauf	Rundlauf	zu bewegende Masse	Hohlwelle	Durchmesser (in mm)
FRS Flat Rotary Stage	■ ■ ■	■ ■	■ ■	■ ■ ■	■ ■ ■	100, 200
RS Rotary Stage	■	■ ■ ■	■ ■ ■	■ ■	■ ■ ■	50, 100, 200, 250, 300

Lineartische

Präzision, Dynamik und Langzeitstabilität bilden die Grundlage für hohe Durchsatzraten und zuverlässigen Betrieb. Die Lineartische sind mit einem neuartigen Linearmotor ausgestattet, der eine gute Alternative zu Spindel- oder Piezoantrieben darstellt. Sie werden mit leistungsfähigen Steuerungen und weiteren Zusatzgeräten geliefert und bieten eine unübertroffene Präzision. Hochwertige Führungen sorgen für ein Optimum an Steifigkeit, Dämpfung und Laufgenauigkeit und somit zur geforderten hohen Präzision.

Vergleich Lineartische

Produkt	Wiederhol-genauigkeit	Verfahr-geschwindigkeit	Beschleunigung	zu bewegende Masse	Verfahrweg
FLS 100	■ ■ ■	■ ■ ■	■ ■ ■	■ ■	■ ■ ■
LS	■ ■	■ ■	■ ■ ■	■ ■ ■	■ ■ ■
ST 9 Eco	■	■	■ ■	■ ■ ■	■ ■ ■
STK 50	■	■	■	■	■

Kreuztische

Kreuztische von ITK sind äußerst kompakt, flach und für unterschiedliche Verfahrwege und Genauigkeiten ausgelegt.

Vergleich Kreuztische

Produkt	Wiederhol-genauigkeit	Verfahr-geschwindigkeit	Beschleunigung	zu bewegende Masse	Verfahrweg	Basis - Technologie
FCS - ABC (Flat Cross Stage)	■ ■ ■	■ ■ ■	■ ■ ■	■ ■	■ ■	FLS
KL - XY - ABC (Kreuztisch linear)	■ ■	■ ■	■ ■ ■	■ ■ ■	■ ■ ■	LS
KS - XY - ABC (Kreuztisch Spindel)	■	■	■ ■	■ ■ ■	■ ■ ■	ST

Nomenklatur

ABC = Verfahrweg: typisch 100 mm

XY: Schienenbreite der Führung, typisch 9, 12, 15 mm

Parameter	Einheit	Typische Leistungseigenschaften
Wiederholgenauigkeit	arcsec	2 … 36
Planlauf	µm	3 … 10
Rundlauf	µm	3 … 20
zu bewegende Masse	kg	5 … 10
Hohlwelle	mm	40 … 50
Durchmesser	mm	100, 200

Parameter	Einheit	Typische Leistungseigenschaften
Wiederholgenauigkeit	arcsec	2 … 36
Planlauf	µm	3 … 10
Rundlauf	µm	3 … 20
zu bewegende Masse	kg	5 … 10
Hohlwelle	mm	40 … 50
Durchmesser	mm	50 … 300

Parameter	Einheit	Typische Leistungseigenschaften
Wiederholgenauigkeit	µm	0,1 … 50
Verfahrgeschwindigkeit	mm/s	0,01 … 5000
Beschleunigung	mm/s²	100 mm/s² … 5 g
Positionsauflösung	nm	5 … 1000
Verfahrweg	mm	10 … 10.000

Parameter	Einheit	Typische Leistungseigenschaften
Wiederholgenauigkeit	µm	0,1 … 50
Verfahrgeschwindigkeit	mm/s	0,01 … 5000
Beschleunigung	mm/s²	100 mm/s² … 5 g
Positionsauflösung	nm	5 … 1000
Verfahrweg	mm	10 … 10.000

Parameter	Einheit	Typische Leistungseigenschaften
Wiederholgenauigkeit	µm	0,1 … 50
Verfahrgeschwindigkeit	mm/s	0,01 … 5000
Beschleunigung	mm/s²	100 mm/s² … 5 g
Positionsauflösung	nm	5 … 1000
Verfahrweg	mm	10 … 10.000

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