itk-logo

BAUGRUPPEN
VON ITK.

Damit kennen wir uns aus.
Auch für Ihre Branche!

Baugruppen

03

ITK-Baugruppen

Der modulare Aufbau aller Systeme von ITK ist die Basis unserer Flexibilität. Unsere Baugruppen sind nach Bewegungsart unterteilt. Die drei übergeordneten Baugruppenkategorien ergeben ein breites Spektrum an Lineartischen, Kreuztischen und Rotationstischen. Hervorzuheben ist in diesem Zusammenhang das Zusammenwirken mit den eigenentwickelten ITK-Steuerungen.

Die Steuerungstechnik ist unser Ursprung und der entscheidende Faktor, um das volle Leistungspotenzial der mechatronischen Baugruppen auszuschöpfen. Sprechen Sie mit uns, wie die hausinterne Software- und Elektronik-Entwicklung Ihre speziellen Anforderungen maßgeschneidert umsetzen kann.
FRS200_für Baugruppenheader

Rundtische

Die extrem flachen Rundtische mit sehr hohen Anforderungen an Planlauf, Rundlauf, Wiederholgenauigkeit und Bauhöhe zählen zur absoluten Spitzenklasse auf dem Markt. Als besonders vorteilhaft erweist sich auch die zentrale Hohlwelle zur Durchführung von Kabeln, Vakuum oder Steckern. Die Rundtische sind für Applikationen im Bereich der optischen Industrie zum Vermessen und Kleben von Linsen, in Messmaschinen jeder Art, Drahtbonding-Maschinen oder in der Halbleiterindustrie bei Inspektions-Systemen zur Prüfung von Wafern vorgesehen.

Vergleich Rundtische

Produkt

Wiederhol-genauigkeit

Planlauf

Rundlauf

zu bewegende Masse

Hohlwelle

Durchmesser (in mm)

FRS

Flat Rotary Stage

■ ■ ■

■ ■

■ ■

■ ■ ■

■ ■ ■

100, 200

RS

Rotary Stage

■ ■ ■

■ ■ ■

■ ■

■ ■ ■

50, 100, 200, 250, 300

Lineartische

Lineartische

Präzision, Dynamik und Langzeitstabilität bilden die Grundlage für hohe Durchsatzraten und zuverlässigen Betrieb. Durch einen neuartigen Linearmotor stellen sie eine gute Alternative zu Spindel- oder Piezoantrieben dar. Sie werden mit leistungsfähigen Steuerungen und weiteren Zusatzgeräten geliefert und bieten eine unübertroffene Präzision. Eine optimierte Luftlagerkonstruktion und hochwertige Führungen sorgen für ein Optimum an Steifigkeit, Dämpfung und Laufgenauigkeit und somit zu einer unübertroffenen Präzision

Vergleich Lineartische

Produkt

Wiederhol-genauigkeit

Verfahr-geschwindigkeit

Beschleunigung

zu bewegende Masse

Verfahrweg

FLS 100

■ ■ ■

■ ■ ■

■ ■ ■

■ ■

■ ■ ■

LS

■ ■

■ ■

■ ■ ■

■ ■ ■

■ ■ ■

ST 9 Eco

■ ■

■ ■ ■

■ ■ ■

STK 50

Kreuztische

Kreuztische

Kreuztische von ITK sind äußerst kompakt, flach und für unterschiedliche Verfahrwege und Genauigkeiten ausgelegt.

Vergleich Kreuztische


Produkt

Wiederhol-genauigkeit

Verfahr-geschwindigkeit


Beschleunigung

zu bewegende Masse


Verfahrweg

Basis - Technologie

FCS - ABC

(Flat Cross Stage)


■ ■ ■


■ ■ ■


■ ■ ■


■ ■


■ ■


FLS


KL - XY - ABC (Kreuztisch linear)



■ ■



■ ■



■ ■ ■



■ ■ ■



■ ■ ■



LS


KS - XY - ABC

(Kreuztisch Spindel)




■ ■


■ ■ ■


■ ■ ■


ST

Nomenklatur

ABC = Verfahrweg: typisch 100 mm

XY: Schienenbreite der Führung, typisch 9, 12, 15 mm

SIE MÖCHTEN AUF DEM LAUFENDEN BLEIBEN?

DANN ABONNIEREN SIE UNSEREN NEWSLETTER!

Datenschutzbestimmung*
 

Als Newsletter-Abonnent stimmen Sie unseren Datenschutzbestimmungen zu

Sie interessieren sich für unsere Produkte?
Sie möchten mit uns gemeinsam nach einer Lösung
Ihrer Aufgabe suchen?
Dann schreiben Sie uns. 
Wir freuen uns auf einen konstruktiven Austausch!

Mit Ihrer Anfrage stimmen Sie unseren Datenschutzbestimmungen zu!

Rundtisch FRS 200

Rundtisch frs200_02

Technische Daten

Parameter

Einheit

Typische Leistungseigenschaften

Wiederholgenauigkeit

arcsec

2 … 36

Planlauf

µm

3 … 10

Rundlauf

µm

3 … 20

zu bewegende Masse

kg

5 … 10

Hohlwelle

mm

40 … 50

Durchmesser

mm

50 … 300

Rundtisch RS 180

Rundtisch rs 180

Technische Daten

Parameter

Einheit

Typische Leistungseigenschaften

Wiederholgenauigkeit

arcsec

2 … 36

Planlauf

µm

3 … 10

Rundlauf

µm

3 … 20

zu bewegende Masse

kg

5 … 10

Hohlwelle

mm

40 … 50

Durchmesser

mm

50 … 300

Lineartisch FLS100

Lineartische

Technische Daten

Parameter

Einheit

Typische Leistungseigenschaften

Wiederholgenauigkeit

µm

0,1 … 50

Verfahrgeschwindigkeit

mm/s

0,01 … 5000

Beschleunigung

mm/s2

100mm/s2 … 5 g

Positionsauflösung

nm

5 … 1000

Verfahrweg

mm

10 … 10.000

Lineartisch ST9 Eco

ST9 Eco

Technische Daten

Parameter

Einheit

Typische Leistungseigenschaften

Wiederholgenauigkeit

µm

0,1 … 50

Verfahrgeschwindigkeit

mm/s

0,01 … 5000

Beschleunigung

mm/s2

100mm/s2 … 5 g

Positionsauflösung

nm

5 … 1000

Verfahrweg

mm

10 … 10.000

Lineartisch STK 50

STK 50

Technische Daten

Parameter

Einheit

Typische Leistungseigenschaften

Wiederholgenauigkeit

µm

0,1 … 50

Verfahrgeschwindigkeit

mm/s

0,01 … 5000

Beschleunigung

mm/s2

100mm/s2 … 5 g

Positionsauflösung

nm

5 … 1000

Verfahrweg

mm

10 … 10.000

Lineartisch LS

LS

Technische Daten

Parameter

Einheit

Typische Leistungseigenschaften

Wiederholgenauigkeit

µm

0,1 … 50

Verfahrgeschwindigkeit

mm/s

0,01 … 5000

Beschleunigung

mm/s2

100mm/s2 … 5 g

Positionsauflösung

nm

5 … 1000

Verfahrweg

mm

10 … 10.000

Kreuztisch FCS100

Kreuztische

Parameter

Einheit

Typische Leistungseigenschaften

Wiederholgenauigkeit

µm

0,1 … 50

Verfahrgeschwindigkeit

mm/s

0,01 … 5000

Beschleunigung

mm/s2

100mm/s2 … 5 g

Positionsauflösung

nm

5 … 1000

Verfahrweg

mm

10 … 500

Kreuztisch KL12

kl12

Technische Daten

Parameter

Einheit

Typische Leistungseigenschaften

Wiederholgenauigkeit

µm

0,1 … 50

Verfahrgeschwindigkeit

mm/s

0,01 … 5000

Beschleunigung

mm/s2

100mm/s2 … 5 g

Positionsauflösung

nm

5 … 1000

Verfahrweg

mm

10 … 500

Kreuztisch KS15

kl12

Technische Daten

Parameter

Einheit

Typische Leistungseigenschaften

Wiederholgenauigkeit

µm

0,1 … 50

Verfahrgeschwindigkeit

mm/s

0,01 … 5000

Beschleunigung

mm/s2

100mm/s2 … 5 g

Positionsauflösung

nm

5 … 1000

Verfahrweg

mm

10 … 500

Mikroskoptisch LMT

LMT

Technische Daten

Parameter

Einheit

Typische Leistungseigenschaften

Verfahrgeschwindigkeit

mm/s

0,1 … 500

Beschleunigung

m/s2

0,1 … 10

Wiederholgenauigkeit

µm

0,25 … 0,5

Positioniergenauigkeit

nm

5

Verfahrbereich

mm

50x50 … 205x205

LMP Linearmagnetisieranlagen

LMP ITK

Technische Daten

Parameter

Typische Leistungseigenschaften

Maßstabslängen

50 - 200 mm

Materialien

hartmagnetisch, weichmagnetisch

Spurbreiten

1 - 5 mm

Anzahl der Spuren

1 - 3, mehrere kodierte Spuren möglich

Periodenlänge

500 - 5000 µm

Genauigkeit

bis in den sub-µm-Bereich (kompensiert)

Auflösung

im Nanometerbereich

Schreibverfahren

digital oder analog

Software

kundenspezifische Bedien- und Auswertesoftware

Qualitätsprüfung

Vermessen des Maßstabs auf der gleichen Anlage

Typische Einsatzbedingungen

industrielle Dauernutzung (24/7)

Kennzeichnung

Jeder Maßstab kann individuell gekennzeichnet werden

Schrittmotoren

Schrittmotorengruppe

Wesentliche Merkmale


Wir können Ihnen Schrittmotoren in den unterschiedlichsten Leistungsklassen, Drehmomentverläufen anbieten. Dabei spielt es keine Rolle, ob in industriellem Umfeld in Reinräumen oder in verschmutzter Umgebung.

  • Drehmomentverlauf kann individuell angepasst werden
  • Hohes Drehmoment
  • Stärkeres Magnetfeld erzielt eine hohe Dynamik bei gleichem Rotorträgheitsmoment
  • Motoranschlussadapter auf Wunsch
  • Dämpfer am zweiten Wellenende verbessern die Gleichlaufeigenschaften
  • Durch einzigartige Ansteuertechnik von ITK werden die Resonanzfrequenzen stark minimiert
  • Reinraum geeignet

Alpha Torque-Stellmotoren

Alphat_Gleichstrommotoren

Wesentliche Merkmale

  • Hohe Drehmomente über den gesamten Geschwindigkeitsbereich
  • Geschwindigkeit max. 10 U/s
  • Präzises MR-Messsystem absolut messend
  • Multiturn-Funktionalität bis max. 16.000 Umdrehungen
  • Schutzklasse IP65

Gantry System FBS

Positioniersysteme

Technische Daten

Parameter

Einheit

Typische Leistungseigenschaften

Traglast

kg

0,5 … 5

Verfahrgeschwindigkeit in X & Y

m/s

0,25 ... 1

Beschleunigung in X & Y

m/s2

0,5 … 10

Wiederholgenauigkeit bidirektional

µm

≤ ±1

Positioniergenauigkeit bidirektional

µm

≤ ±20 … ≤ ±80

Auflösung

nm

500

RMP Rundmagnetisieranlagen

RMP itk

Technische Daten

Parameter

Typische Leistungseigenschaften

Maßstabsdurchmesser

3,5 - 500 mm (Standard)

Maßstabsmaterialien

hartmagnetisch, weichmagnetisch, elastomer- und kunststoffgebunden

Platzierung der Kodierung

wahlweise radiale oder axiale Beschreiibung

Strichanzahl

frei wählbar

Anzahl der Spuren

mehrere kodierte Spuren möglich; Referenzmarken (Polarisation einstellbar)

Wiederholgenauigkeit

ab 5 arcsec (abhängig von Referenzmesssystem und Material)

Auflösung

bis zu 0,5 arcsec

Schreibverfahren

digital oder analog

Software

kundenspezifische Bedien- Auswertesoftware optional

Qualitätsprüfung

Vermessen des Maßstabs auf der gleichen Anlage optional

Typische Einsatzbedingungen

industrielle Dauernutzung (24/7)

Kennzeichnung

Jeder Maßstab kann individuell gekennzeichnet werden

Messsysteme

MR_Messtechnik_Komplett

Wesentliche Merkmale:

  • Magnetisch codierte Maßstäbe ermöglichen den Einsatz unterschiedlichster Bauteile (Maßstabsträger)
  • Inkrementelle oder absolute Messsysteme zur Bestimmung der Position möglich
  • Positionsauflösung von 5 nm erzielbar
  • Auswertelektronik OptoMag liefert ein Ausgangssignal nach Industriestandard von 1 Vss/ 20 µm Periodenlänge. Andere Periodenlängen auf Anfrage
  • Adaption an beliebige Steuerungen möglich
  • Maßstabscodierung erfolgt sehr präzise mit einem Laserinterferometer
  • Speziell konstruiert für den Einsatz in verschmutzter Umgebung
  • Kundenspezifische Maßstäbe realisierbar
  • Auswertelektronik und Sensor getrennt (bei Platzproblemen) oder integriert lieferbar
  • Vakuumtauglich

Hydra-Steuerungen

Hydra Start

Technische Daten

Parameter

Einheit

Typische Leistungseigenschaften

Zwischenkreisspannung

Vac

0 … 48

Max. Phasenstrom

A

2,5 … 50

Unterstützte Motortypen 

mm/s2

Linear-, Stepper-, Voice Coil- Servo-, DC-Motoren

Positionsauflösung

nm

5 … 1000

Echtzeittrigger


Schnittstellenkompabilität


Manuelle Bediengeräte


Sicherheitsfunktionen

Hydra XP – die Leistungsstärkste

Hydra Xp

Wesentliche Merkmale

  • 4-Achsen in 1 Gehäuse
  • Spannungsversorgung: 48 Volt
  • Leistung: 1600 Watt
  • Phasenstrom: max. 50 A

Hydra RM

Hydra RM

Wesentliche Merkmale

  • 4-Achsen in 1 Gehäuse
  • Spannungsversorgung: 24 V / 48 V
  • Leistung: 1000 Watt
  • Phasenstrom: max. 15 A

Hydra TT – Tischversion

Hydra Start

Wesentliche Merkmale 

  • 2-Achsen
  • Spannungsversorgung: 24 V / 48V
  • Leistung: 300 Watt
  • Strom im 2-Phasen-Betrieb: max. 10 A
  • Strom im 3-Phasen-Betrieb: max. 5 A
  • Schnittstellen: CAN, RS232, Ethernet

Hydra CM

Hydra CM

Wesentliche Merkmale

  • 2-Achsen
  • Spannungsversorgung: 24 V / 48 V
  • Leistung: max. 500 W
  • Phasenstrom: 10 A (24 V) / 5 A (48 V)
  • Externes 24 V / 48 V Netzteil
  • Geeignet zur Montage im Schaltschrank
  • kompakte Bauweise ermöglicht Montage direkt an Positioniermechaniken

Hydra DT – mit Joystick

Hydra DT

Wesentliche Merkmale

  • 2-Achsen
  • Spannungsversorgung: 24 V / 48 V
  • Leistung: 150 Watt
  • Phasenstrom: max. 10 A (24V) / 5 A (48V)
  • 6 frei programmierbare Funktionstasten

Andromeda-Steuerungen

Andromeda

Technische Daten

Parameter

Einheit

Typische Leistungseigenschaften

Zwischenkreisspannung

Vac

0 … 48

Max. Phasenstrom

A

2,5 … 50

Unterstützte Motortypen 

mm/s2

Linear-, Stepper-, Voice Coil- Servo-, DC-Motoren

Positionsauflösung

nm

5 … 1000

Echtzeittrigger


Schnittstellenkompabilität


Manuelle Bediengeräte


Sicherheitsfunktionen

Andromeda CM

Andromeda CM

Wesentliche Merkmale

  • Bis zu 6 Achsen
  • Spannungsversorgung: 24V bis 48 V
  • Leistung: 200 W
  • Phasenstrom: 3 A

Andromeda TT – Tischversion

Andromeda tt

Wesentliche Merkmale

  • 3 Achsen
  • Zwischenkreisspannung: 24 V / 48V
  • Leistung: 200 W
  • Phasenstrom: 5 A
  • Schnittstellen: CAN, RS232, Ethernet, USB

Andromeda Base Controller

Andromeda base

Wesentliche Merkmale

  • 2-Achsen
  • Spannungsversorgung: 24 V / 48V
  • Leistung: 300 Watt
  • Strom im 2-Phasen-Betrieb: max. 10 A
  • Strom im 3-Phasen-Betrieb: max. 5 A
  • Schnittstellen: CAN, RS232, Ethernet

Pollux-Schrittmotorsteuerung

Pollux

Technische Daten

Parameter

Einheit

Typische Leistungseigenschaften

Zwischenkreisspannung

Vac

0 … 48

Max. Phasenstrom

A

2,5 … 50

Unterstützte Motortypen 

mm/s2

Linear-, Stepper-, Voice Coil- Servo-, DC-Motoren

Positionsauflösung

nm

5 … 1000

Echtzeittrigger


Schnittstellenkompabilität


Manuelle Bediengeräte


Sicherheitsfunktionen

Pollux-Box

Pollux Box

Wesentliche Merkmale

  • Steuerung und Motoren als separate Positioniereinheit
  • Hohe Flexibilität

Pollux OEM-Varianten

Pollux OEM

Wesentliche Merkmale

• Als Einbau-Varianten ohne Gehäuse lieferbar

Positioniersystem PT15 Gantry Tisch

Gantrysystem

Technische Daten

Parameter

Einheit

Typische Leistungseigenschaften

Verfahrgeschwindigkeit in X

m/s

0,5 … 2,5

Verfahrgeschwindigkeit in Y

m/s

0,5 … 0,8

Beschleunigung in X

m/s2

5 … 50

Beschleunigung in Y

m/s2

0,5 … 5

Wiederholgenauigkeit bidirektional

µm

≤ ±0,5 … ≤ ±2,5

Positioniergenauigkeit bidirektional

µm

≤ ±10 … ≤ ±50

Auflösung

nm

50 … 500