PRÄZISION IM MIKROMETER-BEREICH.

Damit kennen wir uns aus.
Auch für Ihre Branche!

Halbleiterindustrie

In besonders anspruchsvollen Industriezweigen wie der Halbleiter- und Elektronikindustrie sind Präzision, Schnelligkeit und Zuverlässigkeit der Positioniersysteme eine Grundvoraussetzung. Bei der Materialanalyse oder der Wafer-Prüfung mittels optischer oder Ultraschall-Mikroskopie sind komplexe hochdynamische Bewegungsabläufe mit vielen Start-Stopp-Zyklen erforderlich. Die eingesetzten Mess- und Prüfmaschinen müssen für 24/7 Betrieb unter Reinraumbedingungen konzipiert werden. Hier kommt es auch auf Wiederhol- und Positioniergenauigkeit an. ITK entwickelt und liefert maßgeschneiderte Lösungen für Bewegungen mit Genauigkeiten im Mikrometerbereich und Auflösungen im Nanometerbereich für „Positionierung in Perfektion“.

POSITIONIERSYSTEME

Alle Kernelemente unserer Positioniersysteme wie Elektronik, Mechanik und Software werden inhouse
bei ITK entwickelt. Dadurch sind wir in der Lage, hochgenaue und effiziente Positionierungssysteme
auf technisch höchstem Niveau für Industrie und Forschung zu liefern, nicht nur modular aus einem Baukasten, sondern individuell angepasst.

BAUGRUPPEN

Unsere Positioniersysteme können optional mit verschiedenen (Hochgeschwindigkeits-) Z-Achsenmodulen erweitert werden. Selbstverständlich erhalten Sie bei uns auch das passende Messsystem. Die Montage der benötigten Z-Achsen kann kundenseitig erfolgen, aber selbstverständlich liefern wir Ihnen auch gerne eine Komplettlösung.

KOMPONENTEN

Wir entwickeln Steuerungstechnik für alle erdenklichen Motorvarianten zur Positionierung von mechatronischen Applikationen. Das Augenmerk liegt in der dynamischen und exakten Feinpositionierung bis in den Nanometer-Bereich. Unsere Produkte bringen entscheidende Vorteile in puncto Schnelligkeit, Dynamik, höchste Präzision und Zuverlässigkeit.

Unser Branchen-Spezialist steht Ihnen bei weiteren Anliegen zur Halbleiterindustrie zur Verfügung.

Medizintechnik

Kaum ein Industriebereich ist seit der Corona-Pandemie auf Schnelligkeit und Präzision angewiesen wie die Medizin- und Pharmaindustrie. Auf der Suche nach Impfstoffen gegen das Corona-Virus arbeiten Virologen, Bio-Wissenschaftler und die Pharmaforschung auf Hochtouren. Unter hohem Zeitdruck müssen verlässliche Daten generiert werden, um die richtigen Schlussfolgerungen ziehen zu können. Besondere Bedeutung kommt im Kampf gegen die Pandemie auch der eingesetzten Mikroskop- und Labortechnik zu. Mechatronische Systeme wie z. B. Mikroskoptische von ITK zur schnellen und genauen Positionierung von Proben bzw. Arrays unterstützen die Medizin- und Pharmaindustrie bei der Entwicklung von Impfstoffen. Schnelles Positionieren und damit höherer Durchsatz sind hier enorm wichtig.

POSITIONIERSYSTEME

Hochpräzise Portal- und Mikroskoptische bilden das Fundament aller ITK-Positioniersysteme. Sie sind sehr effizient was Bedienkomfort und Durchsatz angeht, da das integrierte Messsystem kein Referenzieren mehr erfordert. Einfach einschalten und auf den Punkt bringen. Ideal für den vollautomatischen Laborbetrieb.

BAUGRUPPEN

Für eine sichere Positionierung und genaueste Wiederholung. Ausgestattet mit neuartigem
Linearmotor stellen unsere extrem flachen Kreuz- und Lineartische eine gute Alternative zu Spindel- oder Piezoantrieben dar. Sie sind verfügbar mit leistungsfähigen Steuerungen und weiteren Zusatzgeräten individuell gefertigt nach Kundenspezifikation.

KOMPONENTEN

Magnetoresistive (MR-) Messtechnik ist unempfindlich gegenüber Verschmutzungen. Unsere MR-Messsysteme können die typischen Werte eines optischen Messsystems liefern (1 Vss/ 20 μm). Somit kann man bei Bedarf unser MR-Messsystem an Ihre vorhandene Applikation adaptieren und gegen ein optisches Messsystem austauschen.

Unser Branchen-Spezialist steht Ihnen bei weiteren Anliegen zur Medizintechnik zur Verfügung.

Werkstoffdiagnostik

Damit ein Werkstoff nicht zum Risiko wird, bedarf es verschiedener Verfahren der Werkstoff-Diagnostik. Zur Bestimmung der Materialzusammensetzung, der Kristallstruktur sowie weiterer werkstoffrelevanter Größen an Proben, Bauteilen oder Schichten werden optische-, röntgen- oder Ultraschallverfahren eingesetzt. Um kleinstmögliche Werkstofffehler zu erkennen, werden höchste Anforderungen an die Maschinenbewegungen gesetzt. Eine hohe Ortsauflösung ist Voraussetzung für viele bildgebende Verfahren, um eventuelle Defekte deutlich „sichtbar“ zu machen. ITK bietet maßgeschneiderte Lösungen für solche Positionieraufgaben.

POSITIONIERSYSTEME

Alle Kernelemente unserer Positioniersysteme wie Elektronik, Mechanik und Software werden inhouse bei ITK entwickelt. Dadurch sind wir in der Lage, hochgenaue und effiziente Positionierungssysteme
auf technisch höchstem Niveau für Industrie und Forschung zu liefern, nicht nur modular aus einem Baukasten, sondern individuell angepasst.

BAUGRUPPEN

Wer auf der Suche nach einem extrem flachen Rundtisch mit sehr hohen Anforderungen an Lauftoleranzen und Wiederholgenauigkeit und mit zentraler Hohlwelle ist, der wird hier fündig. Die patentgeschützte Technologie sorgt zudem für eine gute Wärmeabführung. Einsetzbar in Vakuum-, Reinraum- und Lebensmittelanwendungen.

KOMPONENTEN

Für Zusatzbewegungen wurden unsere hochkompakten Stellmotoren mit integriertem Absolutmesssystem konzipiert. Mit einer hohen Schutzklasse sowie hohem Drehmoment über den gesamten Drehzahlbereich bewähren sich diese Antriebe in zahlreichen Anwendungsbereichen in Anlagen und Geräten für die Werkstoffdiagnostik.

Unser Branchen-Spezialist steht Ihnen bei weiteren Anliegen zur Werkstoffdiagnostik zur Verfügung.

Messtechnik

Im Bereich der Fertigungsmesstechnik werden 2D-und 3D-Bewegungsplattformen benutzt, um Maß-, Form- und Oberflächenprüfungen an industriell hergestellten Bauteilen durchzuführen. Unterschiedliche Sensoren müssen mit einer hohen Ortsauflösung über die Bauteiloberfläche im Raum bewegt werden, um eventuelle Abweichungen oder Defekte zuverlässig zu erkennen. Zunehmend werden solche Anlagen näher an die Produktion verlagert, was eine sichere, robuste Maschinenbauweise erfordert, um präzise Messungen 24/7 zu ermöglichen. ITK hat langjährige Erfahrungen gesammelt bei der Entwicklung von kundenspezifischen Anlagen für die Messung von mechanischen, elektrischen und optischen Komponenten– auch bei den engsten Toleranzen.

OEM-MASCHINEN

Basierend auf den Erfahrungen mit den etablierten Gantry- Systemen und Mikroskoptischen sind wir in der Lage, Sondermaschinen für unterschiedlichste End- Applikationen und nach Kundenspezifikation zu entwickeln. Beispielhaft sind Anlagen für Messaufgaben in der Magnettechnik und im Textil-Bereich.

POSITIONIERSYSTEME

Alle Kernelemente unserer Positioniersysteme wie Elektronik, Mechanik und Software werden inhouse
bei ITK entwickelt. Dadurch sind wir in der Lage, hochgenaue und effiziente Positionierungssysteme auf technisch höchstem Niveau für Industrie und Forschung zu liefern, nicht nur modular aus einem Baukasten, sondern individuell angepasst.

BAUGRUPPEN

Für eine sichere Positionierung und genaueste Wiederholung. Ausgestattet mit neuartigem Linearmotor stellen unsere Lineartische eine gute Alternative zu Spindel- oder Piezoantrieben dar. Die extrem flachen Tische sind verfügbar mit leistungsfähigen Steuerungen und weiteren Zusatzgeräten individuell gefertigt nach Kundenspezifikation.

Unser Branchen-Spezialist steht Ihnen bei weiteren Anliegen zur Messtechnik zur Verfügung.

Magnetisierung

Maßverkörperungen wie z. B. Polringe oder Linearmaßstäbe sind ein wesentlicher Bestandteil von modernen magnetischen Mess-Systemen. Unsere Magnetisieranlagen (linear und rotativ) „beschreiben“ geeignetes Trägermaterial mit unterschiedlichsten Polmustern. Die Qualität der daraus entstehenden magnetischen Maßstäbe hängt von den verschiedensten Parametern ab. Um Maßstäbe für lineare und rotative Anwendungen in höchster Qualität zu produzieren, braucht es langjährige Erfahrung. Genau die finden Sie bei uns. Unsere Anlagen fertigen wir kundenindividuell. Auf Wunsch erhalten Sie von uns eine schlüsselfertige Lösung gemäß Ihren Anforderungen. Sensorhersteller erhöhen ihre Flexibilität mit ihrer eigenen Magnetisierungsanlage.

OEM-MASCHINEN

Sie haben Interesse an einer eigenen Magnetisieranlage für Ihre Fertigung? Sprechen Sie uns an! Wir entwickeln und bauen Ihre individuelle Magnetisieranlage. Unsere modularen Geräte sind daher nicht von der Stange, sondern passend für Ihre Anwendung. Wir beraten Sie gerne und bringen unser Know-how aus 40 Jahren Entwicklung und Fertigung von komplexen Positionieranlagen ein, damit wir Ihre Ideen in Produkte umwandeln und Sie zum „Pole Positioner“ werden.

OEM-MASCHINEN

Sie möchten Maßstäbe für rotative Applikationen magnetisieren? Wir entwickeln und bauen Ihre individuelle Magnetisieranlage. Unsere modularen Geräte sind daher nicht von der Stange, sondern passend für Ihre Anwendung. Wir beraten Sie gerne und bringen unser Know-how aus 40 Jahren Entwicklung und Fertigung von komplexen Positionieranlagen ein, damit wir Ihre Ideen in Produkte umwandeln und Sie zum „Pole Positioner“ werden.

KOMPONENTEN

Typische Einsatzgebiete für flache und präzise Lineartische mit absolutem Messsystem sind Mikromanipulator-Achsen. Werden drei Achsen miteinander montiert, entsteht ein 3D-Manipulator, wie er zum Beispiel in Magnetisieranlagen oder in der Labortechnik verwendet wird, wo es auf exaktes Positionieren ankommt.

Unser Branchen-Spezialist steht Ihnen bei weiteren Anliegen zur Magnetisierung zur Verfügung.

Parameter	Einheit	Typische Leistungseigenschaften
Wiederholgenauigkeit	µm	0,1 … 50
Verfahrgeschwindigkeit	mm/s	0,01 … 5000
Beschleunigung	mm/s²	100 mm/s² … 5 g
Positionsauflösung	nm	5 … 1000
Verfahrweg	mm	10 … 500

Parameter	Einheit	Typische Leistungseigenschaften
Verfahrgeschwindigkeit	mm/s	0,1 … 500
Beschleunigung	mm/s²	≤ 1000
Wiederholgenauigkeit	µm	verschiedenen Klassen
Positioniergenauigkeit	nm	5
Verfahrbereich	mm	50x50 … 205x205

Parameter	Typische Leistungseigenschaften
Maßstabslängen	50 - 5000 mm
Materialien	hartmagnetisch, elastomer- und kunststoffgebundene Magnete
Spurbreiten	1 - 5 mm
Anzahl der Spuren	1 - 3, mehrere kodierte Spuren möglich
Periodenlänge	500 - 5000 µm
Genauigkeit	bis in den sub-µm-Bereich (kompensiert)
Auflösung	im Nanometerbereich
Schreibverfahren	digital oder analog
Software	kundenspezifische Bedien- und Auswertesoftware
Qualitätsprüfung	Vermessen des Maßstabs auf der gleichen Anlage
Typische Einsatzbedingungen	industrielle Dauernutzung (24/7)
Kennzeichnung	Jeder Maßstab kann individuell gekennzeichnet werden

Parameter	Einheit	Typische Leistungseigenschaften
Wiederholgenauigkeit	arcsec	2 … 36
Planlauf	µm	3 … 10
Rundlauf	µm	3 … 20
zu bewegende Masse	kg	5 … 10
Hohlwelle	mm	40 … 50
Durchmesser	mm	100, 200

Parameter	Einheit	Typische Leistungseigenschaften
Wiederholgenauigkeit	arcsec	2 … 36
Planlauf	µm	3 … 10
Rundlauf	µm	3 … 20
zu bewegende Masse	kg	5 … 10
Hohlwelle	mm	40 … 50
Durchmesser	mm	50 … 300

Parameter	Einheit	Typische Leistungseigenschaften
Zwischenkreisspannung	Vac	0 … 48
Max. Phasenstrom	A	2,5 … 50
Unterstützte Motortypen	mm/s²	Linear-, Stepper-, Voice Coil- Servo-, DC-Motoren
Positionsauflösung	nm	5 … 1000
Echtzeittrigger		✓
Schnittstellenkompabilität		✓
Manuelle Bediengeräte		✓
Sicherheitsfunktionen		✓

Parameter	Einheit	Typische Leistungseigenschaften
Zwischenkreisspannung	Vac	0 … 48
Max. Phasenstrom	A	2,5 … 50
Unterstützte Motortypen	mm/s²	Linear-, Stepper-, Voice Coil- Servo-, DC-Motoren
Positionsauflösung	nm	5 … 1000
Echtzeittrigger		✓
Schnittstellenkompabilität		✓
Manuelle Bediengeräte		✓
Sicherheitsfunktionen		✓

Parameter	Einheit	Typische Leistungseigenschaften
Zwischenkreisspannung	Vac	0 … 48
Max. Phasenstrom	A	2,5 … 50
Unterstützte Motortypen	mm/s²	Linear-, Stepper-, Voice Coil- Servo-, DC-Motoren
Positionsauflösung	nm	5 … 1000
Echtzeittrigger		✓
Schnittstellenkompabilität		✓
Manuelle Bediengeräte		✓
Sicherheitsfunktionen		✓

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