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PRÄZISION IM MIKROMETER-BEREICH.

Damit kennen wir uns aus.
Auch für Ihre Branche!

Halbleiterindustrie

In besonders anspruchsvollen Industriezweigen wie der Halbleiter- und Elektronikindustrie sind Präzision, Schnelligkeit und Zuverlässigkeit der Positioniersysteme eine Grundvoraussetzung. Bei der Materialanalyse oder der Wafer-Prüfung mittels optischer oder Ultraschall-Mikroskopie sind komplexe hochdynamische Bewegungsabläufe mit vielen Start-Stopp-Zyklen erforderlich. Die eingesetzten Mess- und Prüfmaschinen müssen für 24/7 Betrieb unter Reinraumbedingungen konzipiert werden. Hier kommt es auch auf Wiederhol- und Positioniergenauigkeit an. ITK entwickelt und liefert maßgeschneiderte Lösungen für Bewegungen mit Genauigkeiten im Mikrometerbereich und Auflösungen im Nanometerbereich für „Positionierung in Perfektion“.

POSITIONIERSYSTEME

Gantrysystem

Alle Kernelemente unserer Positioniersysteme wie Elektronik, Mechanik und Software werden inhouse
bei ITK entwickelt. Dadurch sind wir in der Lage, hochgenaue und effiziente Positionierungssysteme
auf technisch höchstem Niveau für Industrie und Forschung zu liefern, nicht nur modular aus einem Baukasten, sondern individuell angepasst. 

BAUGRUPPEN

HiSA

Unsere Positioniersysteme können optional mit verschiedenen (Hochgeschwindigkeits-) Z-Achsenmodulen erweitert werden. Selbstverständlich erhalten Sie bei uns auch das passende Messsystem. Die Montage der benötigten Z-Achsen kann kundenseitig erfolgen, aber selbstverständlich liefern wir Ihnen auch gerne eine Komplettlösung.

KOMPONENTEN

Andromeda

Wir entwickeln Steuerungstechnik für alle erdenklichen Motorvarianten zur Positionierung von mechatronischen Applikationen. Das Augenmerk liegt in der dynamischen und exakten Feinpositionierung bis in den Nanometer-Bereich. Unsere Produkte bringen entscheidende Vorteile in puncto Schnelligkeit, Dynamik, höchste Präzision und Zuverlässigkeit. 

Unser Branchen-Spezialist steht Ihnen bei weiteren Anliegen zur Halbleiterindustrie zur Verfügung. 

Medizintechnik

Kaum ein Industriebereich ist seit der Corona-Pandemie auf Schnelligkeit und Präzision angewiesen wie die Medizin- und Pharmaindustrie. Auf der Suche nach Impfstoffen gegen das Corona-Virus arbeiten Virologen, Bio-Wissenschaftler und die Pharmaforschung auf Hochtouren. Unter hohem Zeitdruck müssen verlässliche Daten generiert werden, um die richtigen Schlussfolgerungen ziehen zu können. Besondere Bedeutung kommt im Kampf gegen die Pandemie auch der eingesetzten Mikroskop- und Labortechnik zu. Mechatronische Systeme wie z. B. Mikroskoptische von ITK zur schnellen und genauen Positionierung von Proben bzw. Arrays unterstützen die Medizin- und Pharmaindustrie bei der Entwicklung von Impfstoffen. Schnelles Positionieren und damit höherer Durchsatz sind hier enorm wichtig.

POSITIONIERSYSTEME

LMT850
Hochpräzise Portal- und Mikroskoptische bilden das Fundament aller ITK-Positioniersysteme. Sie sind sehr effizient was Bedienkomfort und Durchsatz angeht, da das integrierte Messsystem kein Referenzieren mehr erfordert. Einfach einschalten und auf den Punkt bringen. Ideal für den vollautomatischen Laborbetrieb.

BAUGRUPPEN

FSC

Für eine sichere Positionierung und genaueste Wiederholung. Ausgestattet mit neuartigem
Linearmotor stellen unsere extrem flachen Kreuz- und Lineartische eine gute Alternative zu Spindel- oder Piezoantrieben dar. Sie sind verfügbar mit leistungsfähigen Steuerungen und weiteren Zusatzgeräten individuell gefertigt nach Kundenspezifikation.

KOMPONENTEN

Messsysteme

Magnetoresistive (MR-) Messtechnik ist unempfindlich gegenüber Verschmutzungen. Unsere MR-Messsysteme können die typischen Werte eines optischen Messsystems liefern (1 Vss/ 20 μm). Somit kann man bei Bedarf unser MR-Messsystem an Ihre vorhandene Applikation adaptieren und gegen ein optisches Messsystem austauschen.

Unser Branchen-Spezialist steht Ihnen bei weiteren Anliegen zur Medizintechnik zur Verfügung. 

Werkstoffdiagnostik

Damit ein Werkstoff nicht zum Risiko wird, bedarf es verschiedener Verfahren der Werkstoff-Diagnostik. Zur Bestimmung der Materialzusammensetzung, der Kristallstruktur sowie weiterer werkstoffrelevanter Größen an Proben, Bauteilen oder Schichten werden optische-, röntgen- oder Ultraschallverfahren eingesetzt. Um kleinstmögliche Werkstofffehler zu erkennen, werden höchste Anforderungen an die Maschinenbewegungen gesetzt. Eine hohe Ortsauflösung ist Voraussetzung für viele bildgebende Verfahren, um eventuelle Defekte deutlich „sichtbar“ zu machen. ITK bietet maßgeschneiderte Lösungen für solche Positionieraufgaben.

POSITIONIERSYSTEME

Positioniersysteme

Alle Kernelemente unserer Positioniersysteme wie Elektronik, Mechanik und Software werden inhouse bei ITK entwickelt. Dadurch sind wir in der Lage, hochgenaue und effiziente Positionierungssysteme
auf technisch höchstem Niveau für Industrie und Forschung zu liefern, nicht nur modular aus einem Baukasten, sondern individuell angepasst.

BAUGRUPPEN

FRS200

Wer auf der Suche nach einem extrem flachen Rundtisch mit sehr hohen Anforderungen an Lauftoleranzen und Wiederholgenauigkeit und mit zentraler Hohlwelle ist, der wird hier fündig. Die patentgeschützte Technologie sorgt zudem für eine gute Wärmeabführung. Einsetzbar in Vakuum-, Reinraum- und Lebensmittelanwendungen.

KOMPONENTEN

Alpha Torque

Für Zusatzbewegungen wurden unsere hochkompakten Stellmotoren mit integriertem Absolutmesssystem konzipiert. Mit einer hohen Schutzklasse sowie hohem Drehmoment über den gesamten Drehzahlbereich bewähren sich diese Antriebe in zahlreichen Anwendungsbereichen in Anlagen und Geräten für die Werkstoffdiagnostik.

Unser Branchen-Spezialist steht Ihnen bei weiteren Anliegen zur Werkstoffdiagnostik zur Verfügung. 

Messtechnik

Im Bereich der Fertigungsmesstechnik werden 2D-und 3D-Bewegungsplattformen benutzt, um Maß-, Form- und Oberflächenprüfungen an industriell hergestellten Bauteilen durchzuführen. Unterschiedliche Sensoren müssen mit einer hohen Ortsauflösung über die Bauteiloberfläche im Raum bewegt werden, um eventuelle Abweichungen oder Defekte zuverlässig zu erkennen. Zunehmend werden solche Anlagen näher an die Produktion verlagert, was eine sichere, robuste Maschinenbauweise erfordert, um präzise Messungen 24/7 zu ermöglichen. ITK hat langjährige Erfahrungen gesammelt bei der Entwicklung von kundenspezifischen Anlagen für die Messung von mechanischen, elektrischen und optischen Komponenten– auch bei den engsten Toleranzen.

OEM-MASCHINEN

OEM Maschinen ITK

Basierend auf den Erfahrungen mit den etablierten Gantry- Systemen und Mikroskoptischen sind wir in der Lage, Sondermaschinen für unterschiedlichste End- Applikationen und nach Kundenspezifikation zu entwickeln. Beispielhaft sind Anlagen für Messaufgaben in der Magnettechnik und im Textil-Bereich.

POSITIONIERSYSTEME

Positioniersysteme

Alle Kernelemente unserer Positioniersysteme wie Elektronik, Mechanik und Software werden inhouse
bei ITK entwickelt. Dadurch sind wir in der Lage, hochgenaue und effiziente Positionierungssysteme auf technisch höchstem Niveau für Industrie und Forschung zu liefern, nicht nur modular aus einem Baukasten, sondern individuell angepasst.

BAUGRUPPEN

FLS100

Für eine sichere Positionierung und genaueste Wiederholung. Ausgestattet mit neuartigem Linearmotor stellen unsere Lineartische eine gute Alternative zu Spindel- oder Piezoantrieben dar. Die extrem flachen Tische sind verfügbar mit leistungsfähigen Steuerungen und weiteren Zusatzgeräten individuell gefertigt nach Kundenspezifikation.

Unser Branchen-Spezialist steht Ihnen bei weiteren Anliegen zur Messtechnik zur Verfügung. 

Magnetisierung

Maßverkörperungen wie z. B. Polringe oder Linearmaßstäbe sind ein wesentlicher Bestandteil von modernen magnetischen Mess-Systemen. Unsere Magnetisieranlagen (linear und rotativ) „beschreiben“ geeignetes Trägermaterial mit unterschiedlichsten Polmustern. Die Qualität der daraus entstehenden magnetischen Maßstäbe hängt von den verschiedensten Parametern ab. Um Maßstäbe für lineare und rotative Anwendungen in höchster Qualität zu produzieren, braucht es langjährige Erfahrung. Genau die finden Sie bei uns. Unsere Anlagen fertigen wir kundenindividuell. Auf Wunsch erhalten Sie von uns eine schlüsselfertige Lösung gemäß Ihren Anforderungen. Sensorhersteller erhöhen ihre Flexibilität mit ihrer eigenen Magnetisierungsanlage.

OEM-MASCHINEN

LMP ITK

Sie haben Interesse an einer eigenen Magnetisieranlage für Ihre Fertigung? Sprechen Sie uns an! Wir entwickeln und bauen Ihre individuelle Magnetisieranlage. Unsere modularen Geräte sind daher nicht von der Stange, sondern passend für Ihre Anwendung. Wir beraten Sie gerne und bringen unser Know-how aus 40 Jahren Entwicklung und Fertigung von komplexen Positionieranlagen ein, damit wir Ihre Ideen in Produkte umwandeln und Sie zum „Pole Positioner“ werden.

OEM-MASCHINEN

OEM Maschinen

Sie möchten Maßstäbe für rotative Applikationen magnetisieren? Wir entwickeln und bauen Ihre individuelle Magnetisieranlage. Unsere modularen Geräte sind daher nicht von der Stange, sondern passend für Ihre Anwendung. Wir beraten Sie gerne und bringen unser Know-how aus 40 Jahren Entwicklung und Fertigung von komplexen Positionieranlagen ein, damit wir Ihre Ideen in Produkte umwandeln und Sie zum „Pole Positioner“ werden.

KOMPONENTEN

MMS itk

Typische Einsatzgebiete für flache und präzise Lineartische mit absolutem Messsystem sind Mikromanipulator-Achsen. Werden drei Achsen miteinander montiert, entsteht ein 3D-Manipulator, wie er zum Beispiel in Magnetisieranlagen oder in der Labortechnik verwendet wird, wo es auf exaktes Positionieren ankommt.

Unser Branchen-Spezialist steht Ihnen bei weiteren Anliegen zur Magnetisierung zur Verfügung. 

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Pollux OEM-Varianten

Pollux OEM

Wesentliche Merkmale

• Als Einbau-Varianten ohne Gehäuse lieferbar

Kreuztisch FCS100

Kreuztische

Parameter

Einheit

Typische Leistungseigenschaften

Wiederholgenauigkeit

µm

0,1 … 50

Verfahrgeschwindigkeit

mm/s

0,01 … 5000

Beschleunigung

mm/s2

100 mm/s2 … 5 g

Positionsauflösung

nm

5 … 1000

Verfahrweg

mm

10 … 500

Mikroskoptisch LMT

LMT

Technische Daten

Parameter

Einheit

Typische Leistungseigenschaften

Verfahrgeschwindigkeit

mm/s

0,1 … 500

Beschleunigung

mm/s2

≤ 1000

Wiederholgenauigkeit

µm

verschiedenen Klassen

Positioniergenauigkeit

nm

5

Verfahrbereich

mm

50x50 … 205x205

LMP Linearmagnetisieranlagen

Technische Daten

Parameter

Typische Leistungseigenschaften

Maßstabslängen

50 - 5000 mm

Materialien

hartmagnetisch, elastomer- und kunststoffgebundene Magnete

Spurbreiten

1 - 5 mm

Anzahl der Spuren

1 - 3, mehrere kodierte Spuren möglich

Periodenlänge

500 - 5000 µm

Genauigkeit

bis in den sub-µm-Bereich (kompensiert)

Auflösung

im Nanometerbereich

Schreibverfahren

digital oder analog

Software

kundenspezifische Bedien- und Auswertesoftware

Qualitätsprüfung

Vermessen des Maßstabs auf der gleichen Anlage

Typische Einsatzbedingungen

industrielle Dauernutzung (24/7)

Kennzeichnung

Jeder Maßstab kann individuell gekennzeichnet werden

Rundtisch FRS 200

Rundtisch frs200_02

Technische Daten

Parameter

Einheit

Typische Leistungseigenschaften

Wiederholgenauigkeit

arcsec

2 … 36

Planlauf

µm

3 … 10

Rundlauf

µm

3 … 20

zu bewegende Masse

kg

5 … 10

Hohlwelle

mm

40 … 50

Durchmesser

mm

100, 200

Schrittmotoren

Schrittmotorengruppe

Wesentliche Merkmale


Wir können Ihnen Schrittmotoren in den unterschiedlichsten Leistungsklassen, Drehmomentverläufen anbieten. Dabei spielt es keine Rolle, ob in industriellem Umfeld in Reinräumen oder in verschmutzter Umgebung.

  • Drehmomentverlauf kann individuell angepasst werden
  • Hohes Drehmoment
  • Stärkeres Magnetfeld erzielt eine hohe Dynamik bei gleichem Rotorträgheitsmoment
  • Motoranschlussadapter auf Wunsch
  • Dämpfer am zweiten Wellenende verbessern die Gleichlaufeigenschaften
  • Durch einzigartige Ansteuertechnik von ITK werden die Resonanzfrequenzen stark minimiert
  • Reinraum geeignet

Alpha Torque-Stellmotoren

Alphat_Gleichstrommotoren

Wesentliche Merkmale

  • Hohe Drehmomente über den gesamten Geschwindigkeitsbereich
  • Geschwindigkeit max. 10 U/s
  • Präzises MR-Messsystem absolut messend
  • Multiturn-Funktionalität bis max. 16.000 Umdrehungen
  • Schutzklasse IP65

Rundtisch RS 180

Rundtisch rs 180

Technische Daten

Parameter

Einheit

Typische Leistungseigenschaften

Wiederholgenauigkeit

arcsec

2 … 36

Planlauf

µm

3 … 10

Rundlauf

µm

3 … 20

zu bewegende Masse

kg

5 … 10

Hohlwelle

mm

40 … 50

Durchmesser

mm

50 … 300

Gantry System FBS

Positioniersysteme

Technische Daten

Parameter

Einheit

Typische Leistungseigenschaften

Traglast

kg

0,5 … 5

Verfahrgeschwindigkeit in X & Y

m/s

0,25 ... 1

Beschleunigung in X & Y

m/s2

0,5 … 10

Wiederholgenauigkeit bidirektional

µm

≤ ±1

Positioniergenauigkeit bidirektional

µm

≤ ±20 … ≤ ±80

Auflösung

nm

500

RMP Rundmagnetisieranlagen

Technische Daten

Parameter

Typische Leistungseigenschaften

Maßstabsdurchmesser

3,5 - 500 mm (Standard)

Maßstabsmaterialien

hartmagnetisch, elastomer- und kunststoffgebunden

Platzierung der Kodierung

wahlweise radiale oder axiale Beschreiibung

Strichanzahl

frei wählbar

Anzahl der Spuren

mehrere kodierte Spuren möglich; Referenzmarken (Polarisation einstellbar)

Wiederholgenauigkeit

ab 5 arcsec (abhängig von Referenzmesssystem und Material)

Auflösung

bis zu 0,5 arcsec

Schreibverfahren

digital oder analog

Software

kundenspezifische Bedien- Auswertesoftware optional

Qualitätsprüfung

Vermessen des Maßstabs auf der gleichen Anlage optional

Typische Einsatzbedingungen

industrielle Dauernutzung (24/7)

Kennzeichnung

Jeder Maßstab kann individuell gekennzeichnet werden

Lineartisch FLS100

Lineartische

Technische Daten

Parameter

Einheit

Typische Leistungseigenschaften

Wiederholgenauigkeit

µm

0,1 … 50

Verfahrgeschwindigkeit

mm/s

0,01 … 5000

Beschleunigung

mm/s2

100 mm/s2 … 5 g

Positionsauflösung

nm

5 … 1000

Verfahrweg

mm

10 … 10.000

Lineartisch ST9 Eco

ST9 Eco

Technische Daten

Parameter

Einheit

Typische Leistungseigenschaften

Wiederholgenauigkeit

µm

0,1 … 50

Verfahrgeschwindigkeit

mm/s

0,01 … 5000

Beschleunigung

mm/s2

100 mm/s2 … 5 g

Positionsauflösung

nm

5 … 1000

Verfahrweg

mm

10 … 10.000

Kreuztisch KS15

kl12

Technische Daten

Parameter

Einheit

Typische Leistungseigenschaften

Wiederholgenauigkeit

µm

0,1 … 50

Verfahrgeschwindigkeit

mm/s

0,01 … 5000

Beschleunigung

mm/s2

100 mm/s2 … 5 g

Positionsauflösung

nm

5 … 1000

Verfahrweg

mm

10 … 500

Pollux-Box

Pollux Box

Wesentliche Merkmale

  • Steuerung und Motoren als separate Positioniereinheit
  • Hohe Flexibilität

Messsysteme

MR_Messtechnik_Komplett

Wesentliche Merkmale:

  • Magnetisch codierte Maßstäbe ermöglichen den Einsatz unterschiedlichster Bauteile (Maßstabsträger)
  • Inkrementelle oder absolute Messsysteme zur Bestimmung der Position möglich
  • Positionsauflösung von 5 nm erzielbar
  • Auswertelektronik OptoMag liefert ein Ausgangssignal nach Industriestandard von 1 Vss/ 20 µm Periodenlänge. Andere Periodenlängen auf Anfrage
  • Adaption an beliebige Steuerungen möglich
  • Maßstabscodierung erfolgt sehr präzise mit einem Laserinterferometer
  • Speziell konstruiert für den Einsatz in verschmutzter Umgebung
  • Kundenspezifische Maßstäbe realisierbar
  • Auswertelektronik und Sensor getrennt (bei Platzproblemen) oder integriert lieferbar
  • Vakuumtauglich

Hydra-Steuerungen

Hydra Start

Technische Daten

Parameter

Einheit

Typische Leistungseigenschaften

Zwischenkreisspannung

Vac

0 … 48

Max. Phasenstrom

A

2,5 … 50

Unterstützte Motortypen 

mm/s2

Linear-, Stepper-, Voice Coil- Servo-, DC-Motoren

Positionsauflösung

nm

5 … 1000

Echtzeittrigger


Schnittstellenkompabilität


Manuelle Bediengeräte


Sicherheitsfunktionen

Hydra XP – die Leistungsstärkste

Hydra Xp

Wesentliche Merkmale

  • 4-Achsen in 1 Gehäuse
  • Spannungsversorgung: 48 Volt
  • Leistung: 1600 Watt
  • Phasenstrom: max. 50 A

Hydra RM

Hydra RM

Wesentliche Merkmale

  • 4-Achsen in 1 Gehäuse
  • Spannungsversorgung: 24 V / 48 V
  • Leistung: 1000 Watt
  • Phasenstrom: max. 15 A

Hydra TT – Tischversion

Hydra Start

Wesentliche Merkmale 

  • 2-Achsen
  • Spannungsversorgung: 24 V / 48V
  • Leistung: 300 Watt
  • Strom im 2-Phasen-Betrieb: max. 10 A
  • Strom im 3-Phasen-Betrieb: max. 5 A
  • Schnittstellen: CAN, RS232, Ethernet

Hydra CM

Hydra CM

Wesentliche Merkmale

  • 2-Achsen
  • Spannungsversorgung: 24 V / 48 V
  • Leistung: max. 500 W
  • Phasenstrom: 10 A (24 V) / 5 A (48 V)
  • Externes 24 V / 48 V Netzteil
  • Geeignet zur Montage im Schaltschrank
  • kompakte Bauweise ermöglicht Montage direkt an Positioniermechaniken

Hydra DT – mit Joystick

Hydra DT

Wesentliche Merkmale

  • 2-Achsen
  • Spannungsversorgung: 24 V / 48 V
  • Leistung: 150 Watt
  • Phasenstrom: max. 10 A (24V) / 5 A (48V)
  • 6 frei programmierbare Funktionstasten

Andromeda-Steuerungen

Andromeda

Technische Daten

Parameter

Einheit

Typische Leistungseigenschaften

Zwischenkreisspannung

Vac

0 … 48

Max. Phasenstrom

A

2,5 … 50

Unterstützte Motortypen 

mm/s2

Linear-, Stepper-, Voice Coil- Servo-, DC-Motoren

Positionsauflösung

nm

5 … 1000

Echtzeittrigger


Schnittstellenkompabilität


Manuelle Bediengeräte


Sicherheitsfunktionen

Andromeda CM

Andromeda CM

Wesentliche Merkmale

  • Bis zu 6 Achsen
  • Spannungsversorgung: 24V bis 48 V
  • Leistung: 200 W
  • Phasenstrom: 3 A

Andromeda TT – Tischversion

Andromeda tt

Wesentliche Merkmale

  • 3 Achsen
  • Zwischenkreisspannung: 24 V / 48V
  • Leistung: 200 W
  • Phasenstrom: 5 A
  • Schnittstellen: CAN, RS232, Ethernet, USB

Andromeda Base Controller

Andromeda base

Wesentliche Merkmale

  • 2-Achsen
  • Spannungsversorgung: 24 V / 48V
  • Leistung: 300 Watt
  • Strom im 2-Phasen-Betrieb: max. 10 A
  • Strom im 3-Phasen-Betrieb: max. 5 A
  • Schnittstellen: CAN, RS232, Ethernet

Pollux-Schrittmotorsteuerung

Pollux

Technische Daten

Parameter

Einheit

Typische Leistungseigenschaften

Zwischenkreisspannung

Vac

0 … 48

Max. Phasenstrom

A

2,5 … 50

Unterstützte Motortypen 

mm/s2

Linear-, Stepper-, Voice Coil- Servo-, DC-Motoren

Positionsauflösung

nm

5 … 1000

Echtzeittrigger


Schnittstellenkompabilität


Manuelle Bediengeräte


Sicherheitsfunktionen

Positioniersystem PT15 Gantry Tisch

Gantrysystem

Technische Daten

Parameter

Einheit

Typische Leistungseigenschaften

Verfahrgeschwindigkeit in X

m/s

0,5 … 2,5

Verfahrgeschwindigkeit in Y

m/s

0,5 … 0,8

Beschleunigung in X

m/s2

5 … 50

Beschleunigung in Y

m/s2

0,5 … 5

Wiederholgenauigkeit bidirektional

µm

≤ ±0,5 … ≤ ±2,5

Positioniergenauigkeit bidirektional

µm

≤ ±10 … ≤ ±50

Auflösung

nm

50 … 500